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ÇÑÆí, ¹ÝµµÃ¼ ¹× ÆòÆǵð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶¿ë ±â°è Á¦Á¶¾÷üÀÎ (ÁÖ)´ºÆÄ¿öÇÁ¶óÁ´Â ´ëÇ¥Á¦Ç°ÀÎ RPG(RemotePlasma Generator)°¡ ±¹³» ½ÃÀåÀÇ 20%¸¦ Á¡À¯ÇÏ´Â µî °ü·Ã¾÷°è¿¡¼ µÎ°¢À» ³ªÅ¸³»°í ÀÖÀ¸¸ç, ¹ÝµµÃ¼ (Wafer)¿Í LCDÀÇ Ç¥¸é °¡°ø ¹× CVD Sputtering °øÁ¤ µî¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ÇöóÁ ¹ß»ýÀåÄ¡(RF Generator)ÀÇ ±¹»êÈ¿¡ ¼º°øÇÏ´Â µî Ź¿ùÇÑ ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ±Þ¼ºÀåÇÏ´Â ¿ì¼ö¾÷ü·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù.
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